题 目：面向半导体微纳器件的电化学微纳加工技术：原理和应用
时 间：9月14日（星期六）10:30
主讲人：詹东平
地 点：化学化工学院234报告厅
主办单位：化学化工学院
主讲人简介：
詹东平，厦门大学化学化工学院教授、博士生导师，固体表面物理化学国家重点实验室研究员，嘉庚实验室研究员，中国微米纳米技术协会理事，《物理化学学报》和《电化学》编委。从事微纳尺度电化学研究，研究方向包括电极过程动力学、电化学微纳制造、集成电路电子电镀和先进电化学仪器及装备，获得授权发明专利30余件。
讲座简介：
电化学微纳制造技术，具有无工具磨损、无残余应力、无热效应、无表层和亚表层损伤等优势，在先进制造领域具有不可替代的作用。针对半导体微纳功能器件的重大制造需求，围绕“微纳米尺度空间限域电化学反应”这一关键科学问题，报告人将汇报在半导体晶圆上开展电化学微纳制造的加工原理、方法、应用和仪器设备等方面的研究进展，包括电化学扫描探针直写技术、电化学纳米压印和光电化学印刷术等，以期推动电化学微纳制造方法在半导体工业领域的产业化进程。